型號

MTS101

MTS102

MTS103

MTS104

MTS105

MTS106

行程（mm）

50

100

150

200

250

300

臺面尺寸（mm）

90×90

90×90

90×90

120×120

120×120

120×120

導(dǎo)軌

線性軸承

螺桿導(dǎo)程（mm）

4

分辨率（mm）

0.00032

極限速度 (mm/s)

20

20

20

40

40

40

重復(fù)定位精度（mm）

＜0.005

軸向間隙（mm）

＜0.03

步進電機（1.8°）

42步進電機

極限靜轉(zhuǎn)矩（Ncm）

20

40

40

40

50

50

中心負載（kg）

15

15

10

7

6

5

自重（kg）

2.8

3

3.3

3.8

3.9

4.4

備注

可選配防護罩，應(yīng)用真空環(huán)境中，需單獨訂貨